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产品简介
FlexStream是制备痕量浓度标准气体(ppm, ppb, 和ppt)及混合物的**技术。FlexStream使用KIN-TEK公司可溯源的一次性,或可重复装填和扩散渗透管,超过500种化合物可选择。
系统特点:
▲完整的、集成的、操作简便的系统
▲全自动运行,直接读取浓度,ppm,ppb或ppt
▲操作模式:待机,零位,配气和吹扫
▲彩色触摸屏用于参数设定和监测
▲通过Modbus与其它电脑连接,用于本地或遥控控制
▲具扩展性
▲流路设计具有**灵活性,*低的误差
▲流路接触材料适合反应活性气体 -化合物接触材料仅仅是玻璃,特富龙和不锈钢(其它特制材料可选)
▲可以使用一次性的渗透管,扩散管,超高渗透率的液体装填渗透管,硅片管,以及预装填气体的渗透管
▲一个渗透管炉腔可以容纳八只6英寸长,1/4英寸直径的一次性渗透管(KIN-TEK HRT, SRT 和EL)
▲可以安装一只KIN-TEK预装填的LFH,ULED和57系列的渗透管
FlexStream系统可以根据应用选择一个或多个功能模块
FlexStream 基本单元模块:
“基本单元”是所有FlexStream 系列型号中必须选择的。FlexStream基本单元模块具有如下特点:
▲前置彩色触摸屏操作界面;
▲渗透管炉;
▲一级稀释气体质量流量控制单元;
▲以太网和RS-232串口,用于与外接的计算机连接
FlexStream系统其他功能模块还包括:
▲PM辅助渗透管模块
▲GF气体填装渗透管模块
▲SD 二级稀释模块
▲IM接口模块
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